美国APTECH减压阀如何选购？

减压阀 · 阀选定指南

推 荐 品 种 ( 气体供给系统、气体分配箱)

本指南，对工艺气体系统，在使用阀及减压阀时，作为大致的选定。选定前，下记必读。有关特定品种的详细介绍及规格，参见样本的资料。

一次侧高压用阀是安装在气瓶柜或大流量供给系统中

的减压阀的上游侧的元件。

■气路用阀是安装在气瓶柜或大流量供给系统中减压阀的下游 侧的元件。另外在分配箱(VMB)及装置内部的使用场所(POU),一次侧高压用减压阀的下游侧使用。一次侧高压用减压阀是在气瓶柜或大流量供给系统上使用的元件。

■气路用减压阀是在分配箱(VMB)及装置内部的使用场所(POU)使用的元件。推荐品种是用于半导体工厂一般使用状况下的  产品。特定场所的使用状况，有必要选定不同的品种。

■非液化惰性气体钢瓶，其压力降至1.7MPa时，假设要更换 新的储气瓶。因此一次侧高压用减压阀和一次侧高压用阀的最大推荐流量是设想这些气体的进口侧压力为1.7MPa时的流量。

■非液化毒性气体钢瓶，其压力到达1.0MPa 时，假设要更换 新的钢瓶。因此一次侧高压用减压阀的最大推荐流量是设想这些气体的进口侧压力为1.0MPa时的流量。

■液化气体系统的钢瓶压是设想维持在16℃的氛围气、蒸气压以上。另外，液体在气化之前，假设要更换钢瓶。因 此，一次侧高压用减压阀的最大推荐流量是设想这些气体在使用的减压阀的进口侧为16℃的蒸气压时的流量。

■负压或非常低的正压的压力调整时需要精密调整。

■供给侧减压阀推荐①和②2台的场合，表示二段减压是必要的。就是说①的品种是第一段减压阀，②的品种是第二段 减压阀，推荐2台串联连接使用。
■阀的推荐品种是基于一般的钢瓶压和供给气路压的产品。低压时的阀压力下降变大的场合，需选定别的阀。
■阀的推荐品种是工艺气路切断用的产品。清除阀和排气阀， 这里不使用一般AP3000,AP3650,AP3540 阀有充分的流量特性。这个选定指南登载的品种，为了简略，只表示 代表的型号。型号、大小和额定压力是特定的。例如，表示 手动阀AP3650 的场合，有同等规格的AP3600和AP3625也是推荐品种。
■使用一氧化二氮(N₂O) 的减压阀和二氧化碳(CO2) 的一次侧高压用减压阀，若气体连续的流动，流量超过100slpm 的用途 时，推荐Vespel⑧阀座。
■根据气体的种类、在周围环境的影响和连续的气体流动的用 途上，由于有冻结和再液化的可能性，有需对供给侧的加热 的场合。推荐加热的场合，在理解气体的性质的基础上使用合适的加热手段。通常气体在减压阀的上游侧加热。
■气路压，为设想到低0.4MPa,或一般的钢瓶压中二者小的压力。实际的气路压比这里高的场合，变成比这个指南记载的流量大的流量。