简要描述：AZ1500 系列 高纯度用 一段式减压阀 小流量 膜片阀芯一体构造 APTech
●适用于半导体产业等高纯度的气体供给
适用于高纯度工艺气体的供给气路
● 对应进口侧高压　最大24.1MPa、HR规格（可选项）：最大31MPa
● 流量范围　标准规格 ：＜30L/min（nor）
HF规格可选项 ：120L/min（nor）
● 主体材质　SUS316L
● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是Ni

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