简要描述：SMC AP1200 系列 高纯度用 一段式减压阀 大流量 膜片阀芯一体构造 APTech
●适用于半导体产业等高纯度的气体供给
●阀体材质: SUS316L 二次熔炼或SUS316L
●接气部电解抛光处理
●外部间隙密封构造
适用于高纯度工艺气体的供给气路
● 对应进口侧高压　最大24.1MPa
● 流量范围　标准规格：＜3
减压阀：高纯度工艺气体适用，适合半导体产业等要求高纯度气体供给的产业。

 AP1200 系列 高纯度用 一段式减压阀 大流量 膜片阀芯一体构造 APTech

●适用于半导体产业等高纯度的气体供给

●阀体材质: SUS316L 二次熔炼或SUS316L

●接气部电解抛光处理

●外部间隙密封构造

适用于高纯度工艺气体的供给气路

● 对应进口侧高压　最大24.1MPa

● 流量范围　标准规格：＜3

减压阀：高纯度工艺气体适用，适合半导体产业等要求高纯度气体供给的产业。
适用于高纯度工艺气体的供给气路● 对应进口侧高压　最大24.1MPa● 流量范围　标准规格：＜30L/min（nor）　　　　　HF规格（可选项）：＜120L/min（nor）● 主体材质　SUS316L二次熔炼● 需抗腐蚀的场合，内部材质也可是Ni-Cr-Mo合金规格

1）进口侧压力最大可使用到15.9MPa。但是超过6.9MPa时，由于受压力特性的影响，最大设定压力会变得比1MPa低。最大设定压力与进口侧压力成比例变化，但进口侧压力15.9MPa时的最大设定压力大概是0.89MPa。注2）阀座材质是聚酰亚胺的场合为－10~90℃。注3）用钟罩法（氦气进口侧压力10.5MPa）测定。注4）用钟罩法（氦气进口侧压力7MPa）测定。注5）选择面板安装可选项的场合，为通孔。注6）重量是大致值，随配管连接方式或可选项等而有所不同。